廢液處理

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廢液處理 by Mind Map: 廢液處理

1. TMAH的回收

1.1. 電滲析

1.1.1. 薄膜改良

1.1.2. 參數改變(pH值、溫度、電流強度....)

2. 廢硫酸的回收

2.1. 回收成本高

3. TMAH降解處理

3.1. 生物降解

3.2. UV光處理

3.3. 臭氧預處理