微加工实验与测试室技术平台

1. 测量设备

1.1. 傅立叶变换光谱仪

1.2. 纳米压痕仪

1.3. 双探针扫描电镜

1.4. 扫描探针显微镜

2. 辅助设备

3. 加工设备

3.1. 电子束曝光系统

3.2. 电子束曝光 JBX-6300FS

3.3. 聚焦离子束系统 DB235

3.4. 聚焦离子束系统 Helios

3.5. 紫外曝光系统

3.6. 飞秒激光三维直写系统

3.7. 纳米压印机

3.8. 激光干涉曝光系统

4. 刻蚀设备

4.1. 反应离子刻蚀 Plasma80

4.2. 反应离子刻蚀 NGP80

4.3. 离子束刻蚀系统

4.4. 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Cobra

4.5. 电感耦合等离子体反应离子刻蚀 Plasma100

4.6. 微波等离子体去胶机

5. 生长设备

5.1. 热蒸发系统

5.2. 原子层沉积系统

5.3. 电子束蒸发系统

5.4. 超高真空联合镀膜系统

5.5. 等离子体增强化学气相沉积