Обучение операторов

1. Организация обработки продукции на участке

1.1. Записи в процессе обработки (CЛ, WS…)

1.2. Размещение продукции на участке

1.3. Типовой цикл обработки продукции на участке

1.4. Маркировка стеллажей

1.5. Возможные ошибки и последствия

2. Защита от металлических загрязнений

2.1. Риски, связанные с металлическими загрязенениями

2.2. Группы оборудования, требующие защиты от взаимного переноса загрязенений FEOL, BEOL, MEOL, Cu

2.3. Общие правила работы с каждым из видов контейнеров FEOL, BEOL, MEOL, Cu

2.4. Порядок работы на оборудовании, где допускется обработка нескольких видов пластин Сu/BEOL, Cu/FEOL …

2.5. Защита от ошибок (штырьки на установках)

3. Контроль процессов

3.1. Проверка оборудования перед обработкой продукции квалификация оборудования

3.2. Проверка работы оборудования по рабочим процессам

3.3. Действия при отклонениях

4. Действия с несоответствующей продукцией

4.1. Риски, связанные с несоответствиями продукции

4.2. Виды несоответстий

4.3. Проядок остановки несоответствующей продукции

4.4. Порядок принятия решения о пропуске партии