CVD
作者:пётр тюлягин
1. ответы на К/р (с комментами от препода)
1.1. классы прекурсоров/электродуговая металлизация
1.2. отличие CVD от PVD/лазерное испарение
1.3. классификация CVD/вакуумно-конденсационное напыление
1.4. понятие прекурсора/холодное газодинамическое напыление
1.5. химические транспортные реакции/газопламенное напыление
1.6. реакторы CVD/плазмохимический реактор
1.7. термическое разложение тв. вещества/возможность применения в CVD транспортных реакций
1.8. отличия CVD и пиролиза аэрозоля/плазма, разогретая высокочастотным полем
1.9. параметры транспортных реакций/плазменное напыление
1.10. XOГФ/детонационный метод напыления
1.11. стадии и параметры CVD/применение лазера при синтазе НЧ
1.12. CVI/параметры влияющие на получение нанокристалических порошков
2. презентации
2.1. 1-8 лекция
3. конспекты
3.1. 1-9 лекция
4. доп.литра
4.1. прекурсоры