1. Узлы прибора
1.1. 1) Источник РИ (рентгеновская трурка)
1.1.1. Источник возбуждения атомов пробы
1.2. 2) Фильтры
1.2.1. Убирают мешающие части спектра трубки
1.3. 3) Держатель образца
1.4. 4*) Кристалл-анализатор
1.4.1. В волно-дисперисионном РСА - разложение излучения от образца в разных направлениях
1.5. 5*) Коллиматоры и щели
1.5.1. В волно-дисперсионном РСА - помогают направлять излучение на кристалл/детектор, отсекая помехи
1.6. 6) Детектор
1.6.1. Фиксирует РИ, пришедшее от образца
2. Количественный анализ
2.1. Метод калибровочных графиков (по стандартным образцам)
2.2. Метод учёта матричных эффектов
2.2.1. Классическая модель
2.2.2. Метод фундаментальных параметров
3. Две схемы детектирования
3.1. Энерго-дисперсионный аналзаотор
3.1.1. Разложение сигнала на энергию на детекторе
3.2. Волно-дисперсионный аналзиратор
3.2.1. Разложение сигнала в пространстве по длине волны при помощи кристалла-анализатора
4. Генерация спектра от образца (взаимодействие РИ с веществом)
4.1. Коэффициент поглощения
4.1.1. Фотоэлектрическая абсорбция
4.1.1.1. Характеристическое излучение
4.1.1.2. Ожэ-эффект
4.1.2. Отражение
4.1.2.1. Неупругое
4.1.2.2. Упругое
4.2. Анализируемая глубина
4.3. Выход флуоресценции
4.4. Дифракция
5. Генерация РИ в трубке
5.1. Устройство трубки
5.2. Спектр трубки
5.2.1. Тормозное излучение
5.2.2. Характеристическое излучение
5.3. Режимы работы
5.3.1. Напряжение (U)
5.3.2. Ток (I)
5.3.3. Материал анода (Z)