CVD

1. презентации

1.1. 1-8 лекция

2. конспекты

2.1. 1-9 лекция

3. доп.литра

3.1. прекурсоры

4. ответы на К/р (с комментами от препода)

4.1. классы прекурсоров/электродуговая металлизация

4.2. отличие CVD от PVD/лазерное испарение

4.3. классификация CVD/вакуумно-конденсационное напыление

4.4. понятие прекурсора/холодное газодинамическое напыление

4.5. химические транспортные реакции/газопламенное напыление

4.6. реакторы CVD/плазмохимический реактор

4.7. термическое разложение тв. вещества/возможность применения в CVD транспортных реакций

4.8. отличия CVD и пиролиза аэрозоля/плазма, разогретая высокочастотным полем

4.9. параметры транспортных реакций/плазменное напыление

4.10. XOГФ/детонационный метод напыления

4.11. стадии и параметры CVD/применение лазера при синтазе НЧ

4.12. CVI/параметры влияющие на получение нанокристалических порошков